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三氟化氯（chlorine trifluoride）是无机化合物 
，分子式为ClF?
，分子量为92.45
。有毒
，有强侵蚀性
，常温下为无色气体
，降温变为绿色液体
。

可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等
。在半导体工业中
，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱
。它具有不需拆卸反应舱就可以扫除舱壁附着的半导体物质这一优点
。与其它取代的清洁剂差别
，三氟化氯在使用前不需经由等离子体激化
，由于反应舱剩余的热量就足以使它剖析并与半导体质料反应
。